식각
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작성일 22-11-05 16:35본문
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식각
반도체 공정 순서 (참고)
설명
레포트/기타
등방성(isotropic) → 치수 조절이 힘듬
순수한 화학적 reaction response
높은 선택적(Selectivity) reaction response
원가는…(To be continued )
식각
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻-반도체 공정 중의 하나 반도체 공정 순서 (참고)식각 , 식각기타레포트 ,
,기타,레포트
-반도체 공정 중의 하나
순서
다.